发明名称 一种碳化硅单晶生长用坩埚结构
摘要 本实用新型公开了一种碳化硅单晶生长用坩埚结构,包括:坩埚本体,所述坩埚本体的内腔底部中心设置有凸起的埚底凸台,所述埚底凸台的高度不凸出于碳化硅原料。本实用新型能够提高原料的利用率、有效的降低产品的成本。
申请公布号 CN205474112U 申请公布日期 2016.08.17
申请号 CN201620103705.0 申请日期 2016.02.02
申请人 北京华进创威电子有限公司 发明人 李龙远
分类号 C30B29/36(2006.01)I;C30B23/00(2006.01)I 主分类号 C30B29/36(2006.01)I
代理机构 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 代理人 尹振启
主权项 一种碳化硅单晶生长用坩埚结构,其特征在于,包括:坩埚本体,所述坩埚本体的内腔底部中心设置有凸起的埚底凸台,所述埚底凸台的高度不凸出于碳化硅原料。
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