| 发明名称 | 激光器废气回收装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种激光器废气回收装置，包括多个并排设置的气体存储罐，其中，所述气体存储罐通过气体管道与用于接收激光器废气的缓冲罐相连，所述气体管道上靠近缓冲罐处连接有真空泵，所述气体管道上靠近气体存储罐处连接有压缩机，所述气体存储罐上设置有第一压力变送器，所述缓冲罐上设置有第二压力变送器，所述第一压力变送器、第二压力变送器和PLC控制器的输入端相连，所述PLC控制器的输出端和真空泵及压缩机相连。本实用新型通过设置缓冲罐和真空泵，利用压力比较器控制充气压力，从而能够对芯片、显示器制造中产生的氪、氙、氖三种稀有气体进行回收和纯化处理，且结构简单，易于实施。 | ||
| 申请公布号 | CN205461732U | 申请公布日期 | 2016.08.17 |
| 申请号 | CN201521135431.5 | 申请日期 | 2015.12.31 |
| 申请人 | 上海和立工业气体有限公司 | 发明人 | 梁成科;梁永强;吕其明 |
| 分类号 | B01D53/78(2006.01)I;B01D53/68(2006.01)I;B01D53/047(2006.01)I;B01D53/00(2006.01)I | 主分类号 | B01D53/78(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海科律专利代理事务所(特殊普通合伙) 31290 | 代理人 | 袁亚军 |
| 主权项 | 一种激光器废气回收装置，包括多个并排设置的气体存储罐(2)，其特征在于，所述气体存储罐(2)通过气体管道与用于接收激光器废气的缓冲罐(3)相连，所述气体管道上靠近缓冲罐(3)处连接有真空泵(4)，所述气体管道上靠近气体存储罐(2)处连接有压缩机(5)，所述气体存储罐(2)上设置有第一压力变送器，所述缓冲罐(3)上设置有第二压力变送器，所述第一压力变送器、第二压力变送器和PLC控制器(1)的输入端相连，所述PLC控制器(1)的输出端和真空泵(4)及压缩机(5)相连。 | ||
| 地址 | 201508 上海市金山区山阳镇山磊路188号6幢 | ||