一种用于扫描电子显微镜EBSD测试的样品台

摘要

本实用新型涉及电子显微镜背散射电子衍射测试技术领域，尤其涉及一种用于扫描电子显微镜EBSD测试的样品台。本实用新型提供一种用于扫描电子显微镜EBSD测试的样品台，该样品台为一体式结构，包括斜台和阶梯式底座，斜台与阶梯式底座连接的斜台切面与阶梯型底座成70°夹角，该斜台切面与阶梯型底座的交线同进样方向呈夹角，以保证样品测试面面向EBSD探头。本实用新型简单可靠，一体结构牢固耐用，简化电镜放样流程，可测量大样品或一次测量多个样品，可显著提高EBSD测样的效率。

主权项

一种用于扫描电子显微镜EBSD测试的样品台，其特征在于： 该样品台为一体式结构，包括斜台和阶梯式底座，位于所述斜台上的斜台切面与阶梯型底座成70°夹角，该斜台切面与阶梯型底座的交线同进样方向呈夹角。