| 发明名称 | 荷电粒子束装置 | ||
| 摘要 | 提供一种能够高分辨率检测从试样(101)释放的荷电粒子(201)，高灵敏度的荷电粒子束装置。在配置为与试样(101)接触，由此由于照射的荷电粒子束(104)在试样(101)产生的吸收电流在自身中流过来进行检测，通过荷电粒子束(104)在试样(101)上扫描取得吸收电流图像的荷电粒子束装置中，在离开试样(101)配置了吸收电流检测器(202)的情况下，吸收电流检测器(202)在通过荷电粒子束(101)的照射从试样(101)出射的荷电粒子束(201)入射时，将入射的荷电粒子束(201)作为信号电流(Ia)检测，该信号电流(Ia)依存于从荷电粒子束(104)在试样(101)上的照射位置向吸收电流检测器(202)的方向相对于试样(101)的表面的法线方向和荷电粒子束(104)的入射方向中的至少一个方向所形成的角度θ。 | ||
| 申请公布号 | CN104126217B | 申请公布日期 | 2016.08.17 |
| 申请号 | CN201380010185.8 | 申请日期 | 2013.02.20 |
| 申请人 | 株式会社日立高新技术 | 发明人 | 南里光荣;富松聪;关原雄 |
| 分类号 | H01J37/244(2006.01)I;H01J37/317(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/244(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 曾贤伟;文志 |
| 主权项 | 一种荷电粒子束装置，其具有：荷电粒子束照射装置，其向试样照射荷电粒子束；吸收电流检测器，配置为与所述试样接触，由此使通过照射的所述荷电粒子束在所述试样产生的吸收电流在自身中流过来进行检测，通过所述荷电粒子束在所述试样上扫描，取得吸收电流图像，所述荷电粒子束装置的特征在于，在离开所述试样配置所述吸收电流检测器时，所述吸收电流检测器在通过所述荷电粒子束的照射从所述试样出射的荷电粒子束入射时，将入射的荷电粒子束作为信号电流进行检测，所述信号电流依存于从所述荷电粒子束在所述试样上的照射位置向所述吸收电流检测器的方向相对于所述试样的表面的法线方向和所述荷电粒子束的入射方向中的至少一个方向所形成的角度，所述吸收电流检测器具有：与所述试样接触，流过所述吸收电流的接触探头，从所述试样出射的荷电粒子束入射，流过所述信号电流的非接触探头，所述非接触探头与所述接触探头的前端连接。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||