用于电感耦合等离子体系统的混合阻抗匹配

摘要

本发明涉及用于电感耦合等离子体系统的混合阻抗匹配。在一方面，一种系统包括被配置为产生并调谐供给信号的频率的发生器。该系统还包括自动匹配网络，该自动匹配网络被配置成接收该供给信号并产生用于给等离子体系统提供功率的阻抗匹配信号。在一些实施方式中，在阻抗匹配操作的第一阶段的过程中，该发生器被配置为调谐该供给信号的频率，直到该发生器确认使该发生器的电抗和该发生器上的负载的电抗最佳匹配的频率。在一些实施方式中，在该阻抗匹配操作的第二阶段的过程中，该自动匹配网络被配置为调谐该自动匹配网络内的调谐元件直到该自动匹配网络确认该调谐元件的使该发生器的电阻和该发生器上的负载的电阻最佳匹配的调谐。

主权项

一种用于向等离子体系统提供功率的系统，其包括：发生器，其被配置为产生供给信号并在调谐范围内调谐所述供给信号的频率；自动匹配网络，其被配置成接收所述供给信号并基于该供给信号和所述自动匹配网络的阻抗产生阻抗匹配信号；以及等离子体系统，其被配置成接收所述阻抗匹配信号，所述阻抗匹配信号能够供应功率给所述等离子体系统，以用于一个或多个等离子体促进的工艺，所述阻抗匹配信号进一步基于经所述等离子体系统的阻抗；其中：在阻抗匹配操作的第一阶段的过程中，所述发生器被配置为调谐所述供给信号的所述频率，直到所述发生器确认使所述发生器的电抗和所述发生器上的负载的电抗在所述调谐范围内匹配的频率，所述发生器上所述负载包括所述等离子体系统的阻抗和所述自动匹配网络的阻抗；以及在所述阻抗匹配操作的第二阶段的过程中，所述自动匹配网络被配置为调谐所述自动匹配网络内的调谐元件直到所述自动匹配网络确认所述调谐元件的使所述发生器的电阻和所述发生器上的所述负载的电阻针对所确认的所述频率匹配的调谐。