硅片偏心测试仪

摘要

硅片偏心测试仪，包括千分表、承载件、支撑座、测头和测试仪仪身，承载件安装在支撑座上，测试仪仪身位于承载件的一侧，千分表固定在测试仪仪身上，测头安装在千分表的底端并垂直指向承载件的中心，承载件为三足式形式，包括固定板、支架A、支架B和支架C，固定板为镂空式固定板，支架A、支架B和支架C均安装在镂空处。采用本发明对硅片的偏心量进行测量，无须采用国外进口昂贵的设备便能轻易得出硅片的偏心量，设备简单，价格低廉，测量方法也很方便，易于维修，适合于大量普通的生产光学器件公司的使用。

主权项

硅片偏心测试仪，其特征在于：包括千分表（1）、承载件（2）、支撑座（3）、测头（4）和测试仪仪身（5），所述承载件（2）安装在所述支撑座（3）上，所述测试仪仪身（5）位于所述承载件（2）的一侧，所述千分表（1）固定在所述测试仪仪身（5）上，所述测头安装在所述千分表（1）的的底端并垂直指向所述承载件（2）的中心，所述承载件（2）为三足式形式，包括固定板（6）、支架A（7）、支架B（8）和支架C（9），所述固定板（6）为镂空式固定板（6），所述支架A（7）、支架B（8）和支架C（9）均安装在镂空处。