一种硅片废切割液的提纯方法

摘要

本发明公开了一种硅片废切割液的提纯方法，包括以下步骤：根据硅片废切割液中切割液含量的不同，加入水温度为30—50℃的蒸汽冷凝水，配制切割液的质量百分比为35%—45%的总处理液；然后加入助剂，搅拌均匀后，通过气动隔膜泵打入固液分离装置进行固液分离，通过固液分离装置获得的滤饼以及残渣用蒸汽冷凝水清洗，并且用压缩空气吹干，如此反复几次；对固液分离得到的液体通过蒸馏装置蒸发掉所含的大部分水分，蒸发温度控制在80—130℃，蒸发时间为100—120min，得到主要成分为聚乙二醇的回收切割液。本发明提高了回收切割液的回收率和回收效率，进而减少了资源的浪费；改善了回收切割液的性能，更有利于硅片的切割加工。

主权项

一种硅片废切割液的提纯方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)根据硅片废切割液中切割液含量的不同，加入水温度为30‑50℃的蒸汽冷凝水，配制切割液的质量百分比为35％‑45％的总处理液；(2)加入非离子活性剂和pH调节剂，搅拌均匀后，通过气动隔膜泵将其打入压滤机进行一次固液分离，获得的固体部分用蒸汽冷凝水清洗，压缩空气吹干，得到液体部分加入吸附剂和螯合剂，通过气动隔膜泵将其打入烛式过滤器进行二次固液分离；(3)对固液分离得到的液体通过蒸馏装置蒸发掉所含的大部分水分，蒸发温度控制在80‑130℃，蒸发时间为100‑120min，得到主要成分为聚乙二醇的回收切割液；非离子表面活性剂：壬基酚聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚、月桂醇、鲸蜡醇、失水山梨醇脂、蔗糖酯中的一种或多种混合物，占总处理液的质量百分比0.01％‑0.02％；pH调节剂：二乙醇胺、三乙醇胺中的一种或两种混合物，占总处理液的质量百分比0.0001％‑0.003％；螯合剂：乙二胺四乙酸、氨基三乙酸、二亚乙基三胺五乙酸中的一种或多种混合物，占总处理液的质量百分比0.0001％‑0.003％；吸附剂：活性炭、硅藻土中的一种或两种混合物，占总处理液的质量百分比0.4％‑0.6％。