双金属线圈的电磁驱动微镜

摘要

本发明公开了一种双金属线圈的电磁驱动微镜，镜面组件包括扭转镜板，扭转镜板两侧分别通过扭转轴与固定框架连接，所述扭转镜板上环绕有驱动线圈，驱动线圈两侧分别引出输入端和输出端导线，所述导线与驱动线圈为两种不同材质金属线，且导线与驱动线圈的厚度为可调节式的。通过上述方式，本发明采用双金属材料作为线圈，在微镜的扭转轴上的金属导线使用剪切模量较小的金属材料，可以降低扭转轴的转动惯量。可以使微镜的转角更大。而驱动线圈使用密度更小的金属材料作为线圈，可以降低质量，提高微镜的响应频率，并且铁磁材料可使驱动线圈的磁感应强度增大从而增加驱动力。

主权项

一种双金属线圈的电磁驱动微镜，包括固定框架，所述固定框架内围设有镜面组件，外围为磁场系统；其特征在于，镜面组件包括扭转镜板，扭转镜板两侧分别通过扭转轴与固定框架连接，所述扭转镜板上环绕有驱动线圈，驱动线圈两侧分别引出输入端和输出端导线，所述导线与驱动线圈为两种不同材质金属线，且导线与驱动线圈的厚度为可调节式的。