具有旋转气体喷头的旋转卡盘

摘要

本发明涉及具有旋转气体喷头的旋转卡盘。一种用于处理晶片状物件的装置包括：旋转卡盘，其用于将晶片状物件保持在预定的方位；和旋转喷头，其用于在晶片状物件由所述旋转卡盘保持时供给处理气体至晶片状物件的表面上。所述旋转喷头包括出口板，所述出口板具有在其中心区域和外围区域中的每一个中形成的多个开口。提供处理气体馈送源以供给处理气体到气体分配室。所述气体分配室与形成在所述喷头中的多个开口流体连通。

主权项

一种用于处理晶片状物件的装置，其包括：旋转卡盘，其用于将晶片状物件保持在预定的方位，旋转喷头，其用于在晶片状物件由所述旋转卡盘保持时供给处理气体至该晶片状物件的表面上，所述旋转喷头包括出口板，所述出口板具有在其中心区域和外围区域中的每一个中形成的多个开口，以及处理气体馈送源，其用于供给处理气体到气体分配室，所述气体分配室与形成在所述喷头中的多个开口流体连通。