生产率及一致性提高的离子注入的系统及方法

摘要

本发明涉及一种扫描系统，该扫描系统包括扫描元件、射束评测仪、分析系统及ZFE限制元件。扫描元件配置成扫描离子束扫描路径上的离子束。在离子束扫描路径上扫描离子束时，射束评测仪测量离子束的束电流；分析系统分析所测的束电流，从而检测ZFE情况。位于射束评测仪上游并经由反馈通路耦合至分析系统的ZFE限制元件配置成基于是否检测到ZFE情况而有选择地向经扫描离子束施加时变电场。选择性施加的电场引发经扫描射束中的变化，从而限制ZFE情况。

主权项

一种用于提高离子注入系统中磁扫描离子束的一致性的方法，该方法包括：以扫描频率扫描穿过扫描路径的离子束，该离子束具有束电流或束密度；分析所扫描的离子束，以确定是否存在零场效应；以及选择性向所述离子束施加电场，以减轻所述零场效应情况。