Manufacturing Method of Si Film using Si Solution Process

摘要

실리콘 용액 프로세스를 이용한 실리콘막 제조 방법이 개시된다. 실리콘막 제조 방법에 있어서, 저온 공정으로 두께에 제한이 없는 실리콘막 제조 방법을 제공한다.