发明名称 |
薄膜晶体管基板及其制作方法以及显示器 |
摘要 |
本发明提供一种薄膜晶体管基板,其包括:一基板;多个薄膜晶体管设置于该基板上,其中,各薄膜晶体管包含:一遮光层,位于基板上;一有源层,位于遮光层上;一栅绝缘层,位于基板上并覆盖有源层;一栅极,位于栅绝缘层上,并位于有源层上方;一源极,位于基板上并电连接有源层;以及一漏极,位于基板上并电连接有源层。 |
申请公布号 |
CN103474430B |
申请公布日期 |
2016.08.17 |
申请号 |
CN201210186598.9 |
申请日期 |
2012.06.07 |
申请人 |
群康科技(深圳)有限公司;群创光电股份有限公司 |
发明人 |
李冠锋 |
分类号 |
H01L27/12(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I;G02F1/1368(2006.01)I;G02F1/1362(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/12(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
陈小雯 |
主权项 |
一种薄膜晶体管基板,包括:基板;多个薄膜晶体管,设置于该基板上,其中,各该薄膜晶体管包含:遮光层,位于该基板上;有源层,位于该遮光层上;栅绝缘层,位于该基板上并覆盖该有源层;栅极,位于该栅绝缘层上,并位于该有源层上方;源极,位于该基板上并电连接该有源层;以及漏极,位于该基板上并电连接该有源层,其中该源极、该漏极、与该栅极的位于该有源层上的部分构成一上遮光结构,其中该栅极具有一第一开口与一第二开口,该第一开口与该第二开口分别位于该有源层的一第一部分与第二部分上方,而该源极与该漏极进一步分别通过该第一开口与该第二开口而连接至该有源层的该第一部分与该第二部分,其中该源极与该漏极分别完全遮蔽该第一部分与第二部分。 |
地址 |
518109 广东省深圳市宝安区龙华镇富士康科技工业园E区4栋1楼 |