半导体扩散设备的石英舟升降装置

摘要

本发明公开了一种半导体扩散设备的石英舟升降装置，包括驱动机构、支撑件、双直线导轨、滚珠丝杠、连接板和承载石英舟的升降臂。支撑件横截面为U形，双直线导轨直立地对称设置在支撑件两侧，滚珠丝杠设置在支撑件中部，其由驱动机构驱动转动；连接板安装于滚珠丝杠且与双直线导轨滑动连接，随着滚珠丝杠的转动沿双直线轨道的方向上升或下降；升降臂与连接板固定连接，由连接板的运动带动上升或下降。本发明的石英舟升降装置结构紧凑，受力合理且维护方便。

主权项

一种半导体扩散设备的石英舟升降装置，其特征在于，包括：驱动机构；支撑件，其横截面为U形；双直线导轨，直立地对称设置在所述支撑件两侧；由所述驱动机构驱动转动的滚珠丝杠，其设置于所述支撑件中部；连接板，安装于所述滚珠丝杠且与所述双直线导轨滑动连接，随所述滚珠丝杠的转动沿所述双直线轨道的方向上升或下降；以及承载石英舟的升降臂，与所述连接板固定连接，由所述连接板的运动带动上升或下降。