一种能够延长抛光垫使用寿命的硅晶片精抛光液

摘要

本发明涉及一种能够延长抛光垫使用寿命的硅晶片精抛光液，本发明属于化学机械抛光领域，本发明抛光液包括二氧化硅溶胶、碱性化合物、去离子水余量，还包括聚阴离子纤维素、小分子无机非金属桥联剂、水溶性聚合物和胍基化合物。本发明的抛光液减少抛光垫表面毛囊磨损及内部孔的堵塞，显著延长硅晶片最终抛光过程中的抛光垫使用寿命；同时提高了最终抛光后硅晶片表面均匀性。

主权项

一种能够延长抛光垫使用寿命的硅晶片精抛光液，该抛光液包括二氧化硅溶胶、碱性化合物和去离子水，其特征在于：还包括聚阴离子纤维素、小分子无机非金属桥联剂和胍基化合物，其组分及配比为：所述小分子无机非金属桥联剂为含硼化合物，具体为氧化硼、硼酸及其铵盐中的一种；所述聚阴离子纤维素为取代基分布更为均匀的改性羧甲基纤维素；所述水溶性聚合物为瓜尔胶、黄原胶、醋酸纤维素、磺酸乙基纤维素、羧甲基羟乙基纤维素、甲基纤维素、羧乙基甲基纤维素、羟丙基甲基纤维素、羟丁基甲基纤维素、羟乙基纤维素中的至少一种；所述胍基化合物为胍基乙酸、胍基丁胺、胍基丙酸、胍基牛磺酸、硫酸胍基丁胺、甲胍基乙酸、胍基苯甲酸、氨基胍基戊酸中的一种；所述碱性化合物为碳酸铵、碳酸氢铵、四甲基氢氧化铵、氨水、氨基丙醇、乙醇胺、二乙基三胺、三乙基四胺、羟乙基乙二胺、二亚乙基三胺中的至少一种。