制备多晶硅的方法

摘要

本发明提出了制备多晶硅的方法，包括：通过进料口将氯硅烷输送至精馏塔内，以便对氯硅烷进行蒸馏提纯，得到含有二氯二氢硅和三氯氢硅混合液和四氯化硅溶液；使混合液从塔顶采出口排出并输送至蒸发器，以便将混合液进行蒸发，得到含有三氯氢硅、二氯二氢硅和氢气的原料气；以及使原料气从原料气出口排出并输送至还原炉内，以便利用原料气制备得到多晶硅。本发明实施例的制备多晶硅的方法只需一个精馏塔即可完成对氯硅烷的分离提纯，并且分离得到的塔顶采出液可以直接用于制备多晶硅，进而显著节省了设备配置、降低了能耗。

主权项

一种制备多晶硅的方法，其特征在于，包括：通过精馏塔的进料口将氯硅烷输送至精馏塔内，以便对氯硅烷进行蒸馏提纯，得到含有二氯二氢硅和三氯氢硅混合液和四氯化硅溶液；使所述混合液从所述精馏塔的塔顶采出口排出并输送至蒸发器，以便将所述混合液进行蒸发，得到含有三氯氢硅、二氯二氢硅和氢气的原料气；以及使所述原料气从所述蒸发器的原料气出口排出并输送至还原炉内，以便利用所述原料气制备得到多晶硅，其中，利用换热器预先对输送至所述精馏塔内的氯硅烷进行预热处理，所述预热处理是利用从所述精馏塔的塔底采出口排出的四氯化硅溶液作为热源进行的，利用冷却器对进行所述预热处理后的四氯化硅溶液进行冷却处理，所述精馏提纯的回流比为1～5，所述氯硅烷为选自多晶硅系统中热氢化工序的热氢化料和干法回收工序的干法回收料的至少之一。