| 发明名称 | 一种太阳能电池减反射膜的制作方法以及太阳能电池 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种太阳能电池减反射膜的制作方法，包括：将硅片放入镀膜腔室内，所述镀膜腔室分为多个温区，所述温区沿预设方向依次排列；对所述镀膜腔室内通入保护气体；分别对所述镀膜腔室的各个温区进行升温，将所述各个温区加热至各自对应的温度，所述各个温区的温度沿预设方向梯度递减，其中，温度最高的温区与温度最低的温区之间的温差跨度为35℃～100℃，包括端点值，所述各个温区的温度保持在300℃～500℃之间，包括端点值；在硅片上进行减反射膜沉积；其中，所述预设方向为反应气体的流动方向。采用该方法制作的太能电池，减反射膜膜厚一致，有效稳定了太阳能电池的生产工艺。 | ||
| 申请公布号 | CN104835881B | 申请公布日期 | 2016.08.17 |
| 申请号 | CN201510287772.2 | 申请日期 | 2015.05.29 |
| 申请人 | 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司 | 发明人 | 黄纪德;蒋方丹;金浩 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0216(2014.01)I;C23C16/505(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 王宝筠 |
| 主权项 | 一种太阳能电池减反射膜的制作方法，其特征在于，包括：将硅片放入镀膜腔室内，所述镀膜腔室分为多个温区，所述温区沿预设方向依次排列；对所述镀膜腔室内通入保护气体；分别对所述镀膜腔室的各个温区进行升温，将所述各个温区加热至各自对应的温度，所述各个温区的温度沿预设方向梯度递减，其中，温度最高的温区与温度最低的温区之间的温差跨度为35℃～100℃，包括端点值，所述各个温区的温度保持在300℃～500℃之间，包括端点值；对所述镀膜腔室内通入反应气体，打开射频电源，在硅片上进行减反射膜沉积；其中，所述预设方向为反应气体的流动方向。 | ||
| 地址 | 314416 浙江省嘉兴市海宁市袁花镇袁溪路58号 | ||