溅射靶盘透磁率检测装置

摘要

本实用新型提供一种溅射靶盘透磁率检测装置。所述溅射靶盘透磁率检测装置检测盘装置、检测装置、检测结果获取装置及控制器，所述控制器分别与所述检测盘装置、所述检测装置及所述检测结果获取装置连接，所述控制器包括探头控制器、检测结果控制器、移动控制器、游标卡尺控制器及检测结果分析控制器，所述霍尔探头与所述探头控制器连接，所述水平数字显示表与所述检测结果控制器连接、所述步进电机与所述移动控制器连接，所述游标卡尺与游标卡尺控制器连接，所述检测结果分析控制器与所述检测结果控制器连接。本实用新型的溅射靶盘透磁率检测装置采用自动化控制装置，在实现高精度测量的同时提高了测试效率，有效降低人工劳动强度。

主权项

一种溅射靶盘透磁率检测装置，其特征在于，包括检测盘装置、检测装置、检测结果获取装置及控制器，所述检测装置设于所述检测盘装置，所述检测结构获取装置与所述检测装置连接，所述控制器分别与所述检测盘装置、所述检测装置及所述检测结果获取装置连接；所述检测盘装置包括旋转主盘、旋转辅助盘、移动步进蜗杆平台、蜗杆、步进电机及水平磁条移动手轮，所述旋转辅助盘设于所述旋转主盘；所述旋转辅盘包括设于其中的限位轴承、助力平面轴承、平移磁条及凹槽，所述凹槽设于所述旋转辅盘中间，所述检测装置设于所述凹槽；所述蜗杆及所述步进电机均设于所述移动步进蜗杆平台，所述蜗杆一端与所述步进电机连接，所述蜗杆另一端与所述平移磁条连接，所述水平磁条移动手轮与所述平移磁条连接；所述检测装置包括磁钢、霍尔探头及探头支架座，所述磁钢设于所述旋转辅助盘，所述霍尔探头设于所述旋转主盘相对上方，并与所述探头支架座连接；所述检测结果获取装置包括水平数字显示表及游标卡尺，所述霍尔探头与所述水平数字显示表连接，所述游标卡尺与所述旋转主盘连接；所述控制器包括探头控制器、检测结果控制器、移动控制器、游标卡尺控制器、检测结果分析控制器及控制面板，所述霍尔探头与所述探头控制器连接，所述水平数字显示表与所述检测结果控制器连接、所述步进电机与所述移动控制器连接，所述游标卡尺与游标卡尺控制器连接，所述检测结果分析控制器与所述检测结果控制器连接，所述探头控制器、所述检测结果控制器、所述移动控制器、所述游标卡尺控制器、所述检测结果分析控制器均与所述控制面板连接。