扫描电子显微镜及利用它的原电子电流量的检测方法

摘要

本发明涉及扫描电子显微镜及利用它的原电子及次级电子电流量的检测方法，扫描电子显微镜的特征在于包括：镜筒，在内部形成有收容空间；源头，设置在所述镜筒的内部，用于向所述镜筒的外部的试样产生带电的原电子；过滤器，在所述镜筒的内部设置在所述源头的下部，用于改变所述原电子及所述原电子与所述试样冲撞后发射的次级电子的移动路径；第一检测器，设置在所述过滤器和所述试样之间的所述镜筒的内部，用于检测通过在所述过滤器中产生的电磁场的作用下改变移动路径的所述原电子产生的电流量；第二检测器，设置在所述源头和所述过滤器之间的所述镜筒的内部，用于检测通过所述过滤器改变移动路径的所述次级电子；过滤器控制部，用于控制所述过滤器，以使所述过滤器选择性地改变所述原电子及所述次级电子的移动路径。由此提供保证检查作业的效率性且装置的整体大小小型化的扫描电子显微镜及利用它的原电子电流量的检测方法。

主权项

一种扫描电子显微镜，其特征在于，包括：镜筒，在内部形成有收容空间；源头，设置在所述镜筒的内部，用于向所述镜筒的外部的试样产生带电的原电子；过滤器，在所述镜筒的内部设置在所述源头的下部，用于改变所述原电子及所述原电子与所述试样冲撞后发射的次级电子的移动路径；第一检测器，设置在所述过滤器和所述试样之间的所述镜筒的内部，用于检测通过在所述过滤器中产生的电磁场作用下改变移动路径的所述原电子产生的电流量；第二检测器，设置在所述源头和所述过滤器之间的所述镜筒的内部，用于检测通过所述过滤器改变移动路径的所述次级电子；过滤器控制部，用于控制所述过滤器，以使所述过滤器选择性地改变所述原电子及所述次级电子的移动路径，所述扫描电子显微镜进一步包括：检查部，用于分析由所述第一检测器及所述第二检测器检测的信号；和源头控制部，用于根据从所述检查部传递的结果值，控制从源头扫描的所述原电子的电流量，所述扫描电子显微镜的扫描方式为对所述试样的扫描区域按行依次进行扫描的光栅扫描方式，所述过滤器控制部在原电子扫描到所述试样的扫描区域中的一行的期间内，以使所述次级电子流入所述第二检测器的方式控制所述过滤器，并且在为了将原电子扫描到所述试样的下一行，从而移动原电子的射入位置的期间内，以使所述原电子流入所述第一检测器的方式控制所述过滤器。