| 主权项 |
光刻用薄膜，它是具有包含由含氟聚合物(A)形成的膜和由含氟聚合物(B)形成的膜的多层薄膜的光刻用薄膜，其中，含氟聚合物(A)含有将含1个醚性氧原子的全氟二烯环化聚合而得的重复单元作为主要成分，含氟聚合物(B)具有环结构内含互不相邻的2个或3个醚性氧原子的含氟脂肪族环结构，其特征在于，所述由含氟聚合物(B)形成的膜的总膜厚在所述由含氟聚合物(A)形成的膜的总膜厚的40％以下；所述全氟二烯为以下式(a1)表示的含氟化合物；<img file="FDA0000989296330000011.GIF" wi="1046" he="397" />式中，W<sup>6</sup>表示氟原子或碳数1～3的全氟烷基，n为0或1；所述含氟聚合物(B)包含选自来源于以下式(b1)表示的含氟化合物的重复单元和来源于以下式(b2)表示的含氟化合物的重复单元的至少1种；<img file="FDA0000989296330000012.GIF" wi="934" he="543" />式中，W<sup>1</sup>为氟原子、碳数1～3的全氟烷基或碳数1～3的全氟烷氧基；W<sup>2</sup>和W<sup>3</sup>分别独立为氟原子或可含氧原子的碳数1～6的全氟烷基，W<sup>2</sup>和W<sup>3</sup>可相互结合而形成环状结构；W<sup>4</sup>和W<sup>5</sup>分别独立为氟原子或可含氧原子的碳数1～8的全氟烷基，W<sup>4</sup>和W<sup>5</sup>可相互结合而形成环状结构。 |
