一种微结构阵列器件制造方法

摘要

本发明提供一种微结构阵列器件制造方法，包括：(1)准备用于制备注塑模芯的金属薄片；(2)准备圆柱夹具；(3)将圆柱夹具安装于加工机床上，对圆柱侧面进行超精密切削；(4)将金属薄片包裹于圆柱基底上，并紧固圆柱夹具；(5)再次对包裹金属薄片的圆柱侧面进行切削；(6)取下圆柱夹具，测量圆柱半径R；(7)根据测试好的圆柱半径R，并结合被加工微结构轮廓进行加工路径设计；(8)进行微结构单元加工；(9)对加工微结构区域进行剪裁并适当压平作为注塑模芯；(10)进行微结构产品的注塑加工。本发明的方法可以实现大范围微结构阵列器件的高效低成本制造，同时保证切削状态的稳定性从而保证微结构单元的面形高度一致性。

主权项

一种微结构阵列器件制造方法，包括下列的步骤：(1)准备用于制备注塑模芯的金属薄片(1)；(2)准备圆柱夹具(22)，根据加工机床可加工范围选择圆柱基底(2)；在圆柱基底上沿轴向开设有用于固定紧固金属薄片(1)的部件的凹槽(3)；紧固金属薄片(1)的部件为两个平板(4)，用于夹持金属薄片(1)的两端，平板(4)位于凹槽(3)内并与圆柱基底(2)连接；(3)将圆柱夹具(22)安装于加工机床上，圆柱夹具(22)的一端通过真空吸附固定于机床主轴(21)，金刚石刀具(23)垂直圆柱基底轴线放置，使用金刚石刀具(23)对圆柱侧面进行超精密切削，保证表面平整光滑，加工完毕后取下圆柱夹具(22)；(4)将金属薄片(1)包裹于圆柱基底(2)上，并紧固圆柱夹具(22)使金属薄片压紧圆柱基底(2)的表面，并一起再次安装于加工机床上；(5)再次对包裹金属薄片(1)的圆柱侧面进行切削，保证表面平整光滑；(6)取下包裹金属薄片的圆柱夹具(22)，测量圆柱半径R，并再次将包裹金属薄片的圆柱夹具(22)固定于加工机床上；(7)根据测试好的圆柱半径R，并结合被加工微结构轮廓进行加工路径设计；(8)进行微结构单元加工；(9)加工完微结构后，松卸圆柱夹具，将加工后的金属薄片从圆柱夹具上剥离，对加工微结构区域进行剪裁并适当压平作为注塑模芯(7)；(10)将注塑模芯(7)安装于注塑模架(8)上，进行微结构产品的注塑加工。