光阻过滤性能评估设备

摘要

本实用新型提供一种光阻过滤性能评估设备，包括气源、气管、气压控制和称量系统、样品筒组件、过滤膜、及接液杯，其使用方法为：将一定量的光阻材料填充至样品筒组件中，通过气源对其施加压力使光阻材料从样品筒组件中滤出，施压完毕后，读取滤出液的重量，用滤出量评估光阻材料的过滤性能，从而能够在光阻材料评估阶段筛选评估光阻材料性能，在量产阶段对光阻材料进行来料检测，把关来料品质，减少因光阻导致的制造损失。

主权项

一种光阻过滤性能评估设备，其特征在于，包括气源(10)、通过第一气管(21)与所述气源(10)相连的气压控制和称量系统(30)、通过第二气管(22)与所述气压控制和称量系统(30)相连的样品筒组件(40)、及置于所述气压控制和称量系统(30)上的接液杯(50)；所述气源(10)用于向样品筒组件(40)提供过滤气压；所述样品筒组件(40)用于装填和过滤光阻材料；所述接液杯(50)用于接收光阻材料从样品筒组件(40)中过滤后流出的滤出液；所述气压控制和称量系统(30)用于控制过滤气压，并称量光阻材料从样品筒组件(40)中过滤后流出的滤出液的重量。