电容式微机电结构传感器

摘要

本实用新型提供了一种电容式微机电结构传感器，包括基底以及与基底固定连接的振膜，所述振膜设置有多个波纹结构，所述多个波纹结构中的每个波纹结构包括侧面、底面和顶面，其中，连接侧面与底面的连接边的曲率半径小于振膜的厚度；连接侧面与顶面的连接边的曲率半径大于振膜的厚度。本实用新型的电容式微机电结构传感器的振膜的波纹结构的转角处具有小于振膜厚度的曲率半径，增加了波纹结构的深度，从而较大程度地释放振膜所承受的应力。

主权项

一种电容式微机电结构传感器，包括基底以及与基底固定连接的振膜，其特征在于，所述振膜设置有多个波纹结构，所述多个波纹结构中的每个波纹结构包括侧面、底面和顶面,其中，连接侧面与底面的连接边的曲率半径小于振膜的厚度；连接侧面与顶面的连接边的曲率半径大于振膜的厚度。