一种微型薄膜电阻加热器

摘要

本实用新型涉及一种微型薄膜电阻加热器。在基片1中间设置禁布区域4，所述禁布区域4是受热元件，或者光学通道，或者结构件，所述基片1为方块形或圆形，在禁布区域4外围镀制电阻片2，所述电阻片2按区域单元布置，单元之间通过布局分配使受热元件受热均匀；所述电阻片2的区域单元数量大于等于2，每个电阻片2区域单元通过串联或并联的方式通过导线连接。本实用新型微小型尺寸，低功耗及高的热效率，易于与微器件进行贴装，突破传统薄膜电阻的工艺限制，满足对紧凑结构下禁布区的需求，适用于光电子器件、微电子器件、无源光器件等产品中。

主权项

一种微型薄膜电阻加热器，在基片（1）中间设置禁布区域（4），所述禁布区域（4）是受热元件，或者光学通道，或者结构件，所述基片（1）为方块形或圆形，其特征是在禁布区域（4）外围镀制电阻片（2），所述电阻片（2）按区域单元布置，单元之间通过布局分配使受热元件受热均匀。