互补型薄膜晶体管驱动背板及其制作方法、显示面板

摘要

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种互补型薄膜晶体管驱动背板及其制作方法、显示面板；该互补型薄膜晶体管驱动背板的制作方法，包括：在衬底基板上设置下半导体层，并形成P型半导体有源层；在下半导体层上设置栅绝缘层；在栅绝缘层上设置下电极层，并形成P型晶体管栅极、N型晶体管源极和N型晶体管漏极；在下电极层上设置上半导体层，并形成像素电极和N型半导体有源层；在上半导体层上设置隔离绝缘保护层，并形成接触孔和保护单元；在隔离绝缘保护层上设置上电极层，并形成P型晶体管源极、P型晶体管漏极和N型晶体管栅极；在上电极层上设置像素定义层，并形成像素连接口。

主权项

一种互补型薄膜晶体管驱动背板的制作方法，其特征在于：包括如下步骤：在衬底基板上设置下半导体层，并形成P型半导体有源层；在下半导体层上设置栅绝缘层；在栅绝缘层上设置下电极层，并形成P型晶体管栅极、N型晶体管源极和N型晶体管漏极；所述P型晶体管栅极位于所述P型半导体有源层的上方；利用氧化物半导体材料在下电极层上设置上半导体层，并通过构图工艺形成像素电极和N型半导体有源层；所述N型半导体有源层的两端分别与所述N型晶体管源极和N型晶体管漏极搭接；对所述像素电极区域对应的氧化物半导体材料进行等离子体处理；在上半导体层上设置隔离绝缘保护层，并形成保护单元和位于所述P型半导体有源层两端和所述像素电极对应区域的接触孔；在隔离绝缘保护层上设置上电极层，并形成P型晶体管源极、P型晶体管漏极和N型晶体管栅极；所述P型晶体管源极、P型晶体管漏极分别通过所述接触孔与所述P型半导体有源层的两端相连，所述N型晶体管栅极位于所述N型半导体有源层的上方；在上电极层上设置像素定义层，并形成像素连接口。其中，所述在衬底基板上设置下半导体层包括：在所述衬底基板上设置缓冲层；在所述缓冲层上设置非晶硅薄膜；对非晶硅薄膜进行脱氢处理；对非晶硅薄膜进行准分子激光退火处理，使非晶硅薄膜转变多晶硅薄膜，该多晶硅薄膜即为所述的下半导体层。