驱动C0₂气体放电激光器的多输出电源的阻抗匹配电路

摘要

将具有两个输出(电源A‑电源B)的射频电源连接到包括每一个连接到相应电源输出的两个射频传输线的负载的电性设备。变压器设置将这两个传输线连接到所述负载(34)。每一个传输线包括十二分之一波长传输线部分(24A、24B、28A、28B)的串联对。通过具有可调整阻抗的装置(38)，将在一个传输线中的十二分之一波长传输线部分之间的串联(26A)连接到在另一传输线中十二分之一波长传输线部分之间的串联(26B)。

主权项

一种将多个射频电源连接到负载的阻抗匹配网络，所述网络具有输入阻抗和输出阻抗，所述负载具有负载阻抗，所述网络包括：多个射频传输线，数量上等于所述多个射频电源，所述射频电源具有电源阻抗，每一个传输线连接到这些电源相应一个，通过第一射频合路器将这些传输线连接到所述负载；每一个传输线包括一对串联传输线部分，在所述对中每一个部分具有在所述电源的工作频率处波长的十二分之一的电长度；和在一个传输线中的传输线部分之间的串联连接到在至少另一个传输线中的传输线部分之间的串联，所述连接包括具有在第一预定范围内可调整的阻抗的装置，用于将所述网络的输入和输出阻抗之一匹配到所述电源阻抗和所述负载阻抗中对应的那一个。