基板处理装置

摘要

减轻通过横向移动来将基板搬送至处理槽的上方的搬送装置的负荷。基板处理装置包括：处理槽，其对所容置的基板进行规定的处理；第一搬送部，其在保持第一基板组的状态下沿着规定的第一路径横向移动，由此将该第一基板组搬送至上述处理槽的上方，其中，上述第一基板组的各基板以沿着铅直方向竖立的姿势排列在水平方向上；第二搬送部，其在保持第二基板组的状态下沿着规定的第二路径横向移动，由此将该第二基板组搬送至上述处理槽的上方，其中，上述第二基板组的各基板以沿着铅直方向竖立的姿势排列在水平方向上；第三搬送部，其在上述处理槽的上方相对于上述第一搬送部及前第二搬送部进行相对上下移动，由此从上述第一搬送部和上述第二搬送部分别接收上述第一基板组和上述第二基板组并一并搬送至上述处理槽内。

主权项

一种基板处理装置，其包括：处理槽，其对所容置的基板进行处理；第一搬送部，其在保持第一基板组的状态下沿着第一路径横向移动，由此将该第一基板组从基板取出部搬送至上述处理槽的上方，其中，上述第一基板组的各基板以沿着铅直方向竖立的姿势排列在水平方向上；第二搬送部，其在保持第二基板组的状态下沿着与上述第一路径不同的第二路径横向移动，由此将该第二基板组从上述基板取出部搬送至上述处理槽的上方，其中，上述第二基板组的各基板以沿着铅直方向竖立的姿势排列在水平方向上；第三搬送部，其在上述处理槽的上方，相对于上述第一搬送部及上述第二搬送部进行相对上下移动，由此从上述第一搬送部和上述第二搬送部分别接收上述第一基板组和上述第二基板组并且一并将它们搬送至上述处理槽内。