发明名称 |
光照射装置 |
摘要 |
本发明提供能够精度良好地测量照射到对象物的偏振光的偏振轴角度的光照射装置。照射进行了偏振的光的光照射装置具备:光源(7);装置侧偏振器,其对该光源(7)的光进行偏振,并在光的一个以上的波长处具有100:1以上的消光比;以及测量器(20),其测量由装置侧偏振器进行了偏振的光的偏振轴。 |
申请公布号 |
CN105865631A |
申请公布日期 |
2016.08.17 |
申请号 |
CN201610079892.8 |
申请日期 |
2016.02.04 |
申请人 |
岩崎电气株式会社;偏振光解决方案有限公司 |
发明人 |
石飞裕和;邓学宫;小托马斯·雷·汤姆伯勒 |
分类号 |
G01J4/00(2006.01)I;G02F1/1337(2006.01)I |
主分类号 |
G01J4/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 |
代理人 |
黄志华;何月华 |
主权项 |
一种光照射装置,照射进行了偏振的光,其特征在于,具备:光源;装置侧偏振器,其对该光源的光进行偏振,并在光的一个以上的波长处具有100:1以上的消光比;以及测量器,其测量由所述装置侧偏振器进行了偏振的光的偏振轴,所述测量器能够从所述光照射装置的其他部分移动或者能够从所述其他部分分离。 |
地址 |
日本东京 |