经调适于电子装置制造中运输基板的机械手系统、设备与方法

摘要

在此说明基板运输系统、设备与方法。所述系统经调适以有效率地于目的地取放基板，通过旋转吊杆连接装置至邻近所述目的地的位置，接着独立地致动上臂连结外壳以及一或多个腕部构件，以于所述目的地取放一或多个基板，其中所述腕部构件相对于所述前臂连结外壳独立地经致动，而所述前臂连结构件的动作于运动学上连结至所述上臂连结外壳的动作。在此提供多种其它方面。

主权项

一种电子装置处理系统，包含：腔室；机械手设备，所述机械手设备容纳在所述腔室中并经调适以运输基板，所述机械手设备包括：吊杆连接装置，所述吊杆连接装置经调适以绕第一旋转轴旋转，且所述吊杆连接装置包括空腔；上臂连结外壳，所述上臂连结外壳包括导轴，所述导轴于偏移所述第一旋转轴的第一径向位置处耦合至所述吊杆连接装置，所述上臂连结外壳经调适以绕位于所述第一径向位置的第二旋转轴旋转；前臂连结外壳，所述前臂连结外壳于与所述第二旋转轴隔开的第二位置耦合至所述上臂连结外壳，且所述前臂连结外壳经调适以相对于所述上臂连结外壳绕位于所述第二位置的第三旋转轴旋转；腕部构件，所述腕部构件耦合至所述前臂连结外壳，且所述腕部构件经调适用于相对于所述前臂连结外壳绕第四旋转轴旋转，所述腕部构件经调适以耦合至终端受动器，其中所述终端受动器经调适以携带所述基板；前臂驱动器构件，所述前臂驱动器构件牢固地耦合至且固定地附接至所述吊杆连接装置，且所述前臂驱动器构件具有前臂驱动元件，所述前臂驱动元件延伸穿过所述上臂连结外壳，所述前臂驱动元件经耦合至所述前臂连结外壳的被动构件，其中所述前臂驱动器构件是在一端处具有滑轮的轴，且所述轴相对于所述吊杆连接装置不能移动；上臂驱动器电动机，所述上臂驱动器电动机安装至所述吊杆连接装置；上臂驱动器组件，所述上臂驱动器组件耦合至所述上臂驱动器电动机且包括驱动器构件、被动构件、及上臂驱动器元件，所述被动构件耦合至所述导轴，所述上臂驱动器元件耦合在所述驱动器构件与所述被动构件之间，其中所述驱动器构件、所述被动构件和所述上臂驱动器元件都被安放在所述吊杆连接装置的所述空腔内；及腕部构件驱动器组件，所述腕部构件驱动器组件包含腕部驱动器构件、传递轴、腕部被动构件、及第一腕部驱动元件及第二腕部驱动元件，所述传递轴枢转地安装至所述上臂连结外壳，所述腕部被动构件在所述腕部构件上，所述第一腕部驱动元件耦合在所述传递轴与所述腕部驱动器构件之间，所述第二腕部驱动元件耦合在所述传递轴与所述腕部被动构件之间。