发明名称 |
高动态范围激光远场焦斑测量装置及方法 |
摘要 |
本发明涉及一种高动态范围激光远场焦斑测量装置及方法,该高动态范围激光远场焦斑测量装置包括激光缩束/扩束系统、衰减楔板、分光镜、科学级CCD探测器、微透镜阵列、CCD探测器以及控制计算机;激光缩束/扩束系统、衰减楔板以及分光镜依次设置在同一光路上;分光镜将入射至分光镜的光分为透射光以及反射光;科学级CCD探测器设置在经分光镜后的反射光所在光路上;微透镜阵列以及CCD探测器依次设置在经分光镜后的折射光所在光路上;科学级CCD探测器以及CCD探测器分别与控制计算机相连。本发明提供了一种可实现对高动态范围激光远场焦斑动态测量、并很好保证测量精度的测量装置及方法。 |
申请公布号 |
CN104034416B |
申请公布日期 |
2016.08.17 |
申请号 |
CN201410216270.6 |
申请日期 |
2014.05.21 |
申请人 |
中国科学院西安光学精密机械研究所 |
发明人 |
段亚轩;陈永权;龙江波;赵建科;田留德;李坤;薛勋 |
分类号 |
G01J1/42(2006.01)I;G01B11/00(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01J1/42(2006.01)I |
代理机构 |
西安智邦专利商标代理有限公司 61211 |
代理人 |
姚敏杰 |
主权项 |
一种高动态范围激光远场焦斑测量装置,其特征在于:所述高动态范围激光远场焦斑测量装置包括激光缩束/扩束系统、衰减楔板、分光镜、科学级CCD探测器、微透镜阵列、CCD探测器以及控制计算机;所述激光缩束/扩束系统、衰减楔板以及分光镜依次设置在同一光路上;所述分光镜将入射至分光镜的光分为透射光以及反射光;所述科学级CCD探测器设置在经分光镜后的反射光所在光路上;所述微透镜阵列以及CCD探测器依次设置在经分光镜后的透射光所在光路上;所述科学级CCD探测器以及CCD探测器分别与控制计算机相连。 |
地址 |
710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号 |