一种具有功能通道结构的硅基微型脉动热管

摘要

本发明涉及脉动热管，特指一种有功能通道结构的硅基微型脉动热管所述的微型脉动热管由一对半导体硅片和耐热硼硅酸玻璃片键合而成，所述的硼硅酸玻璃片上加工有抽真空/注液孔；所述的抽真空/注液孔与半导体硅片上的抽真空/注液微槽道的顶端位置相对应，所述硅片上刻蚀有若干微槽道，其特征在于：所述微槽道的宽度沿热管长度方向呈线性变化。本发明克服了普通等截面通道硅基微型脉动热管内部工质难以形成整体定向循环运动和蒸发段易发生“烧干”等不足，通过调整脉动热管通道截面尺寸和热管构型来实现提高其冷却温控性能和承载热负荷的能力。

主权项

一种功能通道结构硅基微型脉动热管，所述的微型脉动热管由一对半导体硅片和耐热硼硅酸玻璃片键合而成，所述的硼硅酸玻璃片上加工有抽真空/注液孔；所述的抽真空/注液孔与半导体硅片上的抽真空/注液微槽道的顶端位置相对应，所述硅片上刻蚀有若干微槽道，其特征在于：所述微槽道的宽度沿热管长度方向呈线性变化，通过调整脉动热管通道截面尺寸和热管构型来实现提高其冷却温控性能和承载热负荷的能力；所述微槽道的中心线与硅片长端边界相互平行，微槽道两边沿通道长度呈线性增大或减小；或所述微槽道中，相邻两条微槽道的宽度仅有一条微槽道的两边沿着热管通道长度方向呈连续线性变化，该微槽道的中心线与硅片长端边界相互平行；另一条微槽道宽度保持不变，微槽道的两边与硅片长端边界相互平行；或所述微槽道中的一边界沿着通道长度方向呈连续线性变化，而另一边界则与硅片边界平行。