直线电机精密定位控制校正方法及校正系统

摘要

本发明涉及一种直线电机定位控制校正方法，该方法如下：按照设定的运动步长控制直线电机运行，利用激光干涉测量装置测量每运行一个步长对应的绝对位置区间内的定位误差值；将定位误差值取反得到误差补偿值并建立误差补偿表；根据设备工作需要设定直线电机每个工作位置坐标；读取直线电机的当前工作位置坐标并确定所在的位置区间；根据误差补偿表中对应的绝对位置区间误差补偿值对当前工作位置坐标进行修正，并利用修正值控制直线电机运行。本发明对于定位误差无较大突变的电机，均可按照既定的工作范围对其校正补偿，补偿精度高，可适用于激光划片(线)机或激光雕刻机等其它需要控制直线电机运动步长的设备。

主权项

一种直线电机定位控制校正方法，包括如下步骤：步骤一：控制直线电机平台运动到工作区起点位置即直线电机的绝对位置0点，设定直线电机每段绝对位置区间的运动步长l₁、l₂、l₃......l_n......l_N；N为直线电机以设定的运动步长运动的段数；步骤二：按照上述设定的运动步长控制直线电机运行；直线电机每运行一个步长，利用激光干涉测量装置测量对应的绝对位置区间内的定位误差值；步骤三：将步骤二测量的每段绝对位置区间内的定位误差值取反得到对应的误差补偿值，建立误差补偿表并将其存入直线电机控制系统；步骤四：根据设备工作需要设定直线电机每个工作位置坐标p₁、p₂、p₃、……pm……、p_M；M为根据设备工作需要确定的工作位置数量；步骤五：判断直线电机是否需要运行，是则读取直线电机的当前工作位置坐标p_m，并确定p_m所在的位置区间X_n；否则继续等待指令；步骤六：根据误差补偿表中对应的绝对位置区间误差补偿值对当前工作位置坐标p_m进行修正，得到直线电机当前工作位置坐标修正值p_m’，并利用该修正值p_m’控制直线电机运行，然后返回步骤五；步骤七：结束工作。