快速脉冲气体传输系统及其方法

摘要

本发明提供一种向工具传输期望质量的气体的脉冲的系统，所述系统包括：包括流量传感器的质量流量控制器、控制阀、以及被配置且设置成接收用于打开和关闭所述控制阀的步骤序列的配方的专用控制器，以便根据所述配方来传输气体脉冲的序列。所述质量流量控制器被配置且设置成在至少两种操作模式中的一种操作模式下进行操作，所述两种模式为；传统质量流量控制器(MFC)模式或者脉冲气体传输模式(PGD)。此外，根据三种不同类型的脉冲气体传输工艺的任何一种，所述专用控制器被配置且设置成传输气体脉冲，所述三种工艺为：基于时间的脉冲传输工艺、基于摩尔的脉冲传输工艺以及基于分布图的脉冲传输工艺。

主权项

一种用于向工具传输期望质量的气体的脉冲的系统，包括：质量流量控制器，所述质量流量控制器包括流量传感器、控制阀和专用控制器，所述专用控制器被配置且设置成接收用于打开和关闭所述控制阀的半导体制造过程中的离散的处理步骤中待被传输的气体的多个脉冲的分布图和排序的配方，以使根据所述配方来以序列方式传输所述气体的多个脉冲。