光模块及其制造方法

摘要

光模块具备具有通过蚀刻硅区域（11）而形成的光透过性光学部件（12）的第1板状构件（10）、以及具有用于反射透过了光透过性光学部件（12）的光的光反射性光学部件（镜（21～24））的第2板状构件（20），第1和第2板状构件（10,20）相互接合，透过光透过性光学部件（12）的光的光路沿着第1板状构件（10）的部件形成面和第2板状构件（20）的主面。由此，实现了能够将光反射性光学部件与光透过性光学部件接近地配置且即使在与基板的特性相关的要求根据光学部件而相反的情况下也可以满足这些要求的光模块及其制造方法。

主权项

一种光模块，其特征在于，具备：第1板状构件，具有通过蚀刻硅区域而形成的光透过性光学部件；以及第2板状构件，在主面上具有用于反射透过了所述光透过性光学部件的光的光反射性光学部件，所述第1和第2板状构件以所述第1板状构件的形成有所述光透过性光学部件的部件形成面与所述第2板状构件的所述主面相对的方式相互接合，透过所述光透过性光学部件的光的光路沿着所述第1板状构件的所述部件形成面和所述第2板状构件的所述主面，所述光反射性光学部件将透过了所述光透过性光学部件的光向所述第1板状构件反射，所述第1板状构件使该光透过。