摘要 |
Dispositivo para el tratamiento de temperatura de gases corrosivos en un reactor para la conversión de tetracloruro de silicio con hidrógeno en triclorosilano, que comprende una cámara para el calentamiento de gases, en el que se encuentran al menos cuatro elementos calefactores o cuatro grupos de elementos calefactores de un material conductor de electricidad, en el que cada elemento calefactor o cada grupo de elementos calefactores están conectados en un sistema parcial regulable y/o controlable por separado de una red de energía eléctrica y en el que se puede calentar a través de paso directo de la corriente, en el que cada elemento calefactor regulable y/o controlable por separado o cada grupo de elementos calefactores regulable y/o controlable por separado es controlable o regulable al menos a un valor o bien igual o diferente de un parámetro del grupo que consta de temperatura, potencia calefactora, corriente, tensión, resistencia del elemento calefactor, en el que al menos cuatro sistemas parciales regulables y/o controlables están aislados galvánicamente hacia tierra y galvánicamente entre sí, en el que cada sistema parcial regulable y/o controlable separado galvánicamente de la red de energía eléctrica, está conectado, respectivamente, con un sistema separado para la supervisión de la toma de tierra. |