| 发明名称 | 用于热处理衬底的设备和其中检测测量数据的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于热处理衬底的设备(100)和在所述设备(100)内用于检测测量数据的方法，其中所述设备(100)包括至少一个可加热的室(102)、载体系统(108)、传感器装置(112)和独立于载体系统(108)的执行器(111)。这里载体系统(108)设计用于承载衬底，其中，传感器装置(112)另外设置用于与数据检测和/或数据存储装置耦连。执行器(111)在此与传感器装置(112)耦连并且设置用于在可加热的室(102)内定位传感器装置(112)。 | ||
| 申请公布号 | CN103765568B | 申请公布日期 | 2016.08.17 |
| 申请号 | CN201280028130.5 | 申请日期 | 2012.06.06 |
| 申请人 | 雷姆热系统有限责任公司 | 发明人 | J·伯克哈特;M·加格吉奥里 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 侯宇 |
| 主权项 | 用于热处理衬底的设备(100；300)，包括：‑至少一个可加热的室(102；302)；其是连续式加热炉，‑载体系统(108；308)，其设计用于承载衬底，其中该载体系统(108；308)设计为传送系统；‑传感器装置(112；212；312)，其设置用于与数据检测和/或数据存储装置(130)耦连；其中，传感器装置(112；212；312)设置在由硅或者具有与硅可比的热特性的材料构成的衬底上，‑独立于载体系统(108；308)的执行器(111；211；311)，其与传感器装置(112；212；312)耦连并且设置用于在可加热的室(102；302)内驱动和定位传感器装置(112；212；312)，和‑控制设备(140)，其设置用于机电式控制执行器(111；211；311)，使得传感器装置(112；212；312)可沿至少一条预先规定的移动路径移动和定位，其中，所述至少一条移动路径沿垂直于通过方向(124；224)并且垂直于由载体系统支承的衬底的衬底表面的方向延伸。 | ||
| 地址 | 德国布劳博伊伦-塞森 | ||