基于区域的虚拟傅里叶滤波器

摘要

本发明包括：搜索图像数据以标识半导体晶片上的一个或多个图案化区域；生成一个或多个虚拟傅里叶滤波器（VFF）工作区；从VFF工作区采集初始图像数据集；利用初始图像数据集来将VFF训练块限定在VFF工作区的所标识图案化区域内，其中每一VFF训练块被限定为涵盖所标识图案化区域的显示所选重复图案的部分；利用来自VFF训练块的初始图像数据集来计算每一VFF训练块的初始频谱；以及通过标识在频域中初始频谱的具有最大值的频率来生成每一训练块的VFF，其中VFF被配置成在标识为显示频谱最大值的频率处使初始频谱的幅值为零。

主权项

一种用于检测从半导体表面采集的图像数据中的缺陷的计算机实现的方法，所述方法包括：对一个或多个图像数据集进行图案搜索以标识半导体晶片上的一个或多个图案化区域；生成一个或多个虚拟傅里叶滤波器VFF工作区，其中每一VFF工作区包括所述一个或多个所标识图案化区域中的至少一个；从每一VFF工作区采集一初始图像数据集；利用所述初始图像数据集来将两个或更多个VFF训练块限定在所述一个或多个VFF工作区的每一个内，以便限制所标识图案化区域的非重复图案部分对强度的贡献，其中被选工作区内的第一VFF训练块被限定为涵盖所述被选工作区的第一部分，该第一部分包括所述一个或多个所标识图案化区域的第一所标识图案化区域，所述第一所标识图案化区域包括被选重复图案，并且所述被选工作区内的附加VFF训练块被限定为涵盖所述被选工作区的附加部分，该附加部分包括所述一个或多个所标识图案化区域的附加所标识图案化区域，所述附加所标识图案化区域包括所述被选重复图案；通过将与所述两个或更多个VFF训练块相关联的空间域强度信息变换成频域频谱信息，利用来自每一VFF训练块的所述初始图像数据集来计算沿着每一VFF训练块的至少一个维度的初始频谱；通过标识在所述频域中具有频谱最大值的初始频谱的频率来生成每一VFF训练块的VFF，其中所述VFF被配置成在初始频谱的标识为显示频谱最大值的频率处使初始频谱的幅值为零；通过将一个或多个生成的VFF施加到所述一个或多个图案化区域的初始频谱来生成所述一个或多个图案化区域的一个或多个经滤波频谱；以及通过将所述一个或多个图案化区域的一个或多个生成的经滤波频谱变换成一个或多个空间域图像数据集来创建所述一个或多个图案化区域的经滤波图像数据集。