固体密度测量方法和检验靶材密度是否合格的方法

摘要

本发明提供一种固体密度测量方法和检验靶材密度是否合格的方法，其中固体密度测量方法，包括：提供固体试样；测量固体试样在空气中的质量为第一测量质量M0；将固体试样浸没在液体中，测量固体试样在液体中的质量为第二测量质量M2；根据M0+ρ_空V_物＝M2+ρ_液V_物，获取固体试样的体积；其中，ρ_空为空气的密度、ρ_液为液体的密度；根据固体试样的体积以及实际质量，获取固体试样的密度，所述实际质量为M0+ρ_空V_物或M2+ρ_液V_物。本发明还提供一种检验靶材密度是否合格的方法，采用本发明的固体密度测量方法能够提高靶材密度的检测精度，提高溅射工艺中的镀膜质量。

主权项

一种固体密度测量方法，其特征在于，提供固体试样；测量固体试样在空气中的质量为第一测量质量M0；将固体试样浸没在液体中，测量固体试样在液体中的质量为第二测量质量M2；根据M0+ρ_空V_物＝M2+ρ_液V_物，获取固体试样的体积；其中，ρ_空为空气的密度、ρ_液为液体的密度；根据固体试样的体积以及实际质量，获取固体试样的密度，所述实际质量为M0+ρ_空V_物或M2+ρ_液V_物；其中，测量所述第一测量质量M0和所述第二测量质量M2的方法包括：提供电子天平，所述电子天平具有称量盘，在所述称量盘上安装测量辅助装置，所述测量辅助装置包括：与所述称量盘连接的检测支架，所述检测支架上设置有托盘，所述托盘置于所述称量盘上方；将盛有液体的第一容器放在电子天平的称量盘上；在所述液体中设置第二容器，且使所述第二容器完全浸没在第一容器中的液体内，所述第二容器和所述托盘通过载物工作线连接，以使第二容器不接触第一容器底部；安装完所述测量辅助装置后，对电子天平进行去皮调零处理，以去除所述测量辅助装置对所述称量盘施加的力，使得天平的读数为零；对电子天平进行去皮调零后，将固体试样放在第二容器中，所述液体浸没所述固体试样且不溢出第一容器，记录电子天平显示的读数，得到第二测量质量M2；并且，将固体试样放在第二容器中之前，还包括步骤：在电子天平外设置第三容器，所述第三容器中盛有所述液体，将固体试样浸没在所述第三容器中的液体中；待固体试样在所述第三容器的液体中充分浸湿后，取出所述固体试样；取出所述固体试样后，去除所述固体试样表面的液珠。