用于检测具有周期图案的图像的缺陷的装置和方法

摘要

本发明涉及用于检测具有周期图案的图像的缺陷的装置和方法。公开了一种缺陷检测装置，该缺陷检测装置包括：角提取器，设置成从其中多个图案按周期间隔形成的原始图像提取所述图案的斜角；图案周期提取器，设置成通过利用所述斜角提取所述多个图案彼此分离的图案周期；以及图像移位器，设置成沿与所述斜角垂直的方向将所述原始图像根据移位所述图案周期，以形成移位图像。本发明通过利用所述周期图案的斜角和图案周期来移位图像，由此，容易地提取所述原始图像的缺陷。

主权项

一种缺陷检测装置，该缺陷检测装置包括：角提取器，所述角提取器被设置成从其中多个图案按周期间隔形成的原始图像提取图案的斜角；图案周期提取器，所述图案周期提取器被设置成通过利用所述斜角提取所述多个图案彼此分离的图案周期；图像移位器，所述图像移位器被设置成沿与所述斜角垂直的方向将所述原始图像移位所述图案周期，以形成移位图像；以及缺陷检测器，所述缺陷检测器被设置成：组合所述原始图像和所述移位图像以去除交叠区，并且提取非交叠区以检测所述非交叠区作为缺陷。