发明名称 |
晶片封装体与其制备方法 |
摘要 |
一种晶片封装体与其制备方法,该晶片封装体包含:一基板;一顶盖层,位于基板上,且具有一第一开口贯穿顶盖层;一第一腔室,位于基板与顶盖层之间;一第一微机电元件,位于第一腔室中;一第一塞件,位于第一开口中;以及一第一密封盖,位于顶盖层上以密封第一开口。本发明能整合不同的微机电元件于晶片封装体中,且密封盖还能防止腔室漏气的情事发生,进而提升晶片封装体的良率与使用寿命。 |
申请公布号 |
CN105858586A |
申请公布日期 |
2016.08.17 |
申请号 |
CN201610069667.6 |
申请日期 |
2016.02.01 |
申请人 |
精材科技股份有限公司 |
发明人 |
温英男;姚皓然;刘建宏 |
分类号 |
B81B7/00(2006.01)I;B81C3/00(2006.01)I |
主分类号 |
B81B7/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 |
代理人 |
刘新宇 |
主权项 |
一种晶片封装体,其特征在于,包含:一基板;一顶盖层,位于该基板上,且具有一第一开口贯穿该顶盖层;一第一腔室,位于该基板与该顶盖层之间;一第一微机电元件,位于该第一腔室中;一第一塞件,位于该第一开口中;以及一第一密封盖,位于该顶盖层上以密封该第一开口。 |
地址 |
中国台湾桃园市中坜区中坜工业区吉林路23号9楼 |