可提高碳化硅质量的方法及艾奇逊炉

摘要

本发明公开一种可提高碳化硅质量的方法及艾奇逊炉，通过将原有单层炉芯板改为层间距为450mmm的双层炉芯板，选用冶金焦粉与石英砂按照体积比7：3均匀混合成新的第一保温料设于炉芯板间隙内，其余可用一般现有的第二保温料设于外层炉芯板与炉墙之间，这样能有效降低新的第一保温料的使用成本，杜绝大量现有保温料累积造成环境影响。且艾奇逊石墨化炉产生的碳化硅主要集中在靠近产品的保温料处，大约450mm厚，采用新的第一保温料，有效节约成本的同时增加了优质碳化硅的产量。

主权项

一种可提高碳化硅质量的方法，其特征在于：包括安装搭建艾奇逊炉的炉体，所述炉体由竖直的炉墙和位于炉墙下方的炉底墙围成；在所述炉体内设置间隙为450mm的双层炉芯板，所述双层炉芯板围设成石墨化区域，产品及电阻料位于所述石墨化区域内，在所述双层炉芯板的间隙内填充第一保温料，所述第一保温料为冶金焦粉与石英砂按照体积比7：3均匀混合成的混合物；在所述炉墙和外层的炉芯板之间填充第二保温料；待炉墙的第二保温料填充完毕，可将所述双层炉芯板缓慢提出。