晶圆表面检测设备

摘要

本实用新型涉及一种晶圆表面检测设备，上述晶圆表面检测设备包括运动平台和检测组件；运动平台包括X轴轨道和Y轴轨道，检测组件与X轴轨道连接，检测组件能够在X轴轨道上滑动，晶圆能够在Y轴轨道上滑动至检测组件的下方；检测组件包括相互固定连接的相机、镜头和光源，晶圆位于检测组件下方时，相机正对晶圆，镜头位于相机和晶圆之间，光源朝向晶圆。通过上述晶圆表面检测设备进行检测，检测结果准确，不会损伤晶圆，安全可靠，而且能够提高检测效率。若待检测的晶圆的数量为多片，检测组件在X轴轨道上移动，晶圆在Y轴轨道上移动，检测组件可以依次对多个晶圆拍照，在保证准确率的前提下，进一步的提高了检测效率。

主权项

一种晶圆表面检测设备，用于对晶圆的表面进行检测，其特征在于，包括运动平台和检测组件；所述运动平台包括X轴轨道和Y轴轨道，所述检测组件与所述X轴轨道连接，所述检测组件能够在所述X轴轨道上滑动，所述晶圆能够在所述Y轴轨道上滑动至所述检测组件的下方；所述检测组件包括相互固定连接的相机、镜头和光源，所述晶圆位于所述检测组件下方时，所述相机正对所述晶圆，所述镜头位于所述相机和所述晶圆之间，所述光源朝向所述晶圆。