一种液刀及具有该液刀的显影液清洗装置

摘要

本发明公开了一种液刀及具有该液刀的显影液清洗装置，液刀包括具有至少一个喷液槽的液刀槽体，和与所述喷液槽一一对应的液刀芯体，其中：每一个所述液刀芯体安装于其对应的喷液槽内，且所述喷液槽中沿所述液刀芯体长度方向延伸的两个侧壁之间配合形成一喷液口，所述液刀芯体具有一端伸入所述喷液口的喷嘴部，所述喷嘴部伸入所述喷液口的部分与两个侧壁之间分别形成一个喷液间隙，两个所述喷液间隙并行排列。上述液刀作业时通过至少一个喷液槽作业，即至少有两个喷液间隙同时作业，两个并行排列的喷液间隙在沿喷液间隙的长度方向上的同一位置上发生堵塞的几率较小，能够提高显影液清洗装置对玻璃基板表面清洗的效果，提高产品良率。

主权项

一种用于显影液清洗装置的液刀，其特征在于，包括具有至少一个喷液槽的液刀槽体，和与所述喷液槽一一对应的液刀芯体，其中：每一个所述液刀芯体安装于其对应的喷液槽内，且所述喷液槽中沿所述液刀芯体长度方向延伸的两个侧壁之间配合形成一喷液口，所述液刀芯体具有一端伸入所述喷液口的喷嘴部，所述喷嘴部伸入所述喷液口的部分与两个侧壁之间分别形成一个喷液间隙，两个所述喷液间隙并行排列；每一个所述喷液槽中，两个沿所述液刀芯体长度方向延伸的所述侧壁背离所述喷液口的一端与所述液刀芯体密封连接，所述液刀芯体具有：贯穿所述液刀芯体长度方向的进液管路；开口位于所述液刀芯体背离其喷嘴部一面、且与所述进液管路连通的多个进液孔；与所述进液管路和所述液刀芯体与所述侧壁之间间隙连通的多个进液支路。