发明名称 |
一种多片盒升降旋转系统 |
摘要 |
本发明一种多片盒升降系统,其特征在于,包括:旋转机构,所述旋转机构由旋转驱动装置驱动;若干升降机构,环绕固定在所述旋转机构的外缘;其中,每一个升降机构底部设置有升降驱动装置,所述升降驱动装置顶部连接有片盒。本发明的多片盒升降系统,将多个片盒升降机均匀分布在旋转机构上,而旋转机构由DDR马达来驱动,能够保证定位的高精度和稳定。由运动控制器独立控制,能实时完成上下片过程。满足了设备对多片盒的要求。同时提供的高精度,能充分满足设备需求。 |
申请公布号 |
CN103367222B |
申请公布日期 |
2016.08.17 |
申请号 |
CN201210102311.X |
申请日期 |
2012.04.10 |
申请人 |
上海卓晶半导体科技有限公司 |
发明人 |
李正贤;丁天祥 |
分类号 |
H01L21/687(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/687(2006.01)I |
代理机构 |
上海申新律师事务所 31272 |
代理人 |
竺路玲 |
主权项 |
一种控制系统,用于控制多片盒升降旋转系统,所述多片盒升降旋转系统包括:旋转机构,所述旋转机构由旋转驱动装置驱动;若干升降机构,环绕固定在所述旋转机构的外缘;其中,每一个升降机构底部设置有升降驱动装置,所述升降驱动装置顶部放置片盒;其特征在于,所述控制系统包括:马达控制系统,用于控制所述多片盒升降旋转系统的旋转驱动装置和升降驱动装置;信号处理系统,具有用于检测故障的传感器和手动按钮,若检测到故障或触发按钮,则通过警报装置发出警报,并发送指令至所述马达控制系统,使所述旋转驱动装置和升降驱动装置停止工作。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江高科技园区李时珍路396号2幢208-209 |