一种回旋式真空扩散泵

摘要

本发明涉及真空泵领域，特指一种回旋式真空扩散泵。该扩散泵采用了多级、每级多条片状高速蒸汽流以回旋式运动的方法来实现对空气的牵引与压缩，从而获得真空度。此外，蒸发油腔呈锥形，通过设计不同油腔分层的大小，在使油蒸汽于喷射口处获得较大的喷射速度的同时使外层的轻馏分获得比内层的重馏分更大的流速；不同级别的喷嘴的回旋速度从上往下呈现速度梯度，使得气体不断被挤压至泵体底层，通过机械泵排除；喷嘴之间采用行星齿轮机构传动，并由电机驱动，从上至下呈现速度梯度；采用纺锤形泵体，增大喷射流长度，使极限真空更好。

主权项

一种回旋式真空扩散泵，包括泵体、冷却水槽、加热装置与分馏装置、蒸发油腔与多级旋转喷嘴，泵体内部底层有加热装置，加热装置上固定有分馏装置，蒸发油腔位于泵体下部，固定在分馏装置之上，其特征在于：泵体呈纺锤形，蒸发油腔呈锥形，蒸发油腔上方固定有用作输送高温蒸汽和作为多级旋转喷嘴旋转中心轴的连接管道，连接管道与每级旋转喷嘴之间都通过两个圆锥滚子轴承配合，多级旋转喷嘴之间通过行星齿轮机构连接与传动，最上方一级的旋转喷嘴与固定于泵体顶部驱动电机的输出轴连接，由电机驱动带动多级旋转喷嘴旋转；所述多级旋转喷嘴分3层，从上至下为一级旋转喷嘴、二级旋转喷嘴和三级旋转喷嘴，呈盘状，为了保证喷射流呈片状且呈指定方向喷射，喷射口必须呈椭圆形，椭圆形喷射口长轴与短轴之比(10‑20)：1，且流道出口切线方向与喷射流设计方向一致，每级旋转喷嘴24个喷射口，且呈同心、均匀分布，且从上层到下层，旋转喷嘴的半径逐渐减小，按7:6:5排列。