低温泵及低温泵安装结构

摘要

本发明提供一种低温泵及低温泵安装结构，其适于要求比较大的气体吸储量和/或比较小的排气速度的用途。本发明的低温泵（10），用于对真空腔室（200）进行排气，该低温泵具备：放射屏蔽件，具备包围用于接收气体的屏蔽件开口的屏蔽件开口端；及盖部件（300），具有比用于将屏蔽件开口连接于真空腔室（200）的屏蔽件开口窄的连接开口。盖部件（300）具备用于在真空腔室侧包围连接开口且将低温泵（10）安装于真空腔室侧的对象凸缘的第1安装凸缘（302）。

主权项

一种低温泵，其用于对真空腔室进行排气，其特征在于，具备：放射屏蔽件，具备屏蔽件开口端，且该屏蔽件开口端包围用于接收气体的屏蔽件开口；及盖部件，用于将所述屏蔽件开口连接于所述真空腔室且具有比所述屏蔽件开口窄的连接开口，所述盖部件具备：第1安装凸缘，且该第1安装凸缘在真空腔室侧包围所述连接开口且用于将所述低温泵安装于真空腔室侧的对象凸缘；以及第2安装凸缘，且该第2安装凸缘在低温泵侧包围所述连接开口且所述第2安装凸缘的口径大于所述第1安装凸缘的口径。