包括铰链组件的等离子体处理组件

摘要

在一个实施方式中，等离子体处理组件可以包括耦合到铰链体的上处理体和耦合到基部铰链构件的下处理体。所述铰链体能与所述基部铰链构件可枢转地接合。自锁闩能与所述基部铰链构件可枢转地接合。当铰链体围绕第一旋转轴旋转时，凸锁闩接合构件能接触所述自锁闩并且使所述自锁闩围绕第二旋转轴沿与偏置方向相反的方向旋转。所述自锁闩能围绕第二旋转轴沿偏置方向旋转并且能阻止所述铰链体围绕第一旋转轴旋转。

主权项

一种等离子体处理组件，其包括：下处理体，其包含形成于其中的下真空室；安装到所述下处理体的基部铰链构件；与所述基部铰链构件可枢转地接合并安装到上处理体的铰链体，其中所述基部铰链构件和所述铰链体彼此围绕第一旋转轴相对旋转，使得所述上处理体的运动由所述基部铰链构件和所述铰链体约束，并且其中所述铰链体包括凸锁闩接合构件；与所述基部铰链构件可枢转地接合的自锁闩，其中所述自锁闩和所述基部铰链构件彼此围绕第二旋转轴相对旋转，并且所述自锁闩被偏置在偏置方向，并且其中：当所述铰链体围绕所述第一旋转轴从闭合位置并且朝向锁定位置旋转时，所述凸锁闩接合构件接触所述自锁闩并且使所述自锁闩围绕所述第二旋转轴沿与偏置方向相反的方向旋转；以及当所述铰链体围绕所述第一旋转轴旋转到锁定位置时，所述自锁闩围绕所述第二旋转轴沿偏置方向旋转并且阻止所述铰链体围绕所述第一旋转轴旋转到所述闭合位置。