树脂结合线锯的制造方法

摘要

提供一种高效地制造使铸锭切割工序稳定化、平滑且由切割导致的晶圆表面损伤层的厚度小的树脂结合线锯的方法，以及适合于该方法的树脂结合线锯用的粘接剂组合物。一种树脂结合线锯用的粘接剂组合物，其用于制造在金属芯线表面借助树脂结合而固结有磨料的树脂结合线锯，以100重量份酚醛清漆型酚醛树脂、10～30重量份甲阶酚醛型酚醛树脂、0.1～5重量份胺系硅烷偶联剂作为必须成分；一种树脂结合线锯的制造方法，其包括如下工序：将包含前述粘接剂组合物、磨料、以及用于溶解前述粘接剂组合物的溶剂而成的糊剂涂布于金属芯线表面，将所涂布的糊剂用包含近红外线的红外线加热，从而使前述粘接剂组合物发生交联反应的加热工序。

主权项

一种树脂结合线锯的制造方法，所述树脂结合线锯在金属芯线表面借助树脂结合而固结有磨料，所述制造方法包括如下工序：准备树脂结合用的糊剂和金属芯线的工序；将该糊剂连续涂布于以1000～2000mm/sec的移动速度移动的该金属芯线表面的工序；使所述金属芯线上所涂布的该糊剂以所述移动速度移动并且用近红外线以500～800℃对400～1000mm的长度范围连续地加热，从而使粘接剂组合物发生交联反应的加热工序，所述树脂结合用的糊剂的粘度为3～6Pa·s，包含粘接剂组合物、该粘接剂组合物的溶剂、金刚石磨料以及由无机颗粒构成的填料，所述粘接剂组合物以如下成分作为必须成分：酚醛清漆型酚醛树脂    100重量份甲阶酚醛型酚醛树脂    10～30重量份胺系硅烷偶联剂        0.1～5重量份。