发明名称 |
晶粒双面筛盘 |
摘要 |
本发明公开了微电子领域的一种可以区分GPP芯片的晶粒筛盘。由筛盘框和筛盘组成,筛盘位于筛盘框上面,其特征在于:晶粒双面筛盘由正面筛盘和反面筛盘构成,正反筛盘通过转轴相连接,反面筛盘可通过转轴旋转180<sup>o</sup>与正面筛盘相复合,正面筛盘和反面筛盘呈轴对称,筛盘有纵横整齐排列的筛选孔,筛盘的筛选孔直径与所筛晶片的N面相同,筛选孔底部有排气孔,筛盘框为密闭空腔,排气孔与筛盘框密闭空腔相通。本发明具有区分极性成功率高、操作方便和效率高等优点。 |
申请公布号 |
CN103489816B |
申请公布日期 |
2016.08.17 |
申请号 |
CN201310443910.2 |
申请日期 |
2013.09.26 |
申请人 |
如皋市易达电子有限责任公司 |
发明人 |
黄建山;陈建华;张练佳;梅余峰 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I;B07B1/28(2006.01)I;B07B1/46(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 |
代理人 |
孙民兴;王维新 |
主权项 |
一种晶粒双面筛盘,由筛盘框和筛盘组成,筛盘位于筛盘框上面,其特征在于:晶粒双面筛盘由正面筛盘和反面筛盘构成,正反筛盘通过转轴相连接,反面筛盘可通过转轴旋转180°与正面筛盘相复合,正面筛盘和反面筛盘呈轴对称,筛盘有纵横整齐排列的筛选孔,筛盘的筛选孔直径与所筛晶片的N面相同,筛选孔底部有排气孔,筛盘框为密闭空腔,排气孔与筛盘框密闭空腔相通;筛盘上筛选孔设置纵向覆盖板;筛盘框侧面有吸气孔,吸气孔与真空泵相连。 |
地址 |
226561 江苏省南通市如皋市搬经镇群岸村7组 |