确定处理腔室清洁工艺的终点的设备及方法

摘要

本发明提供用于确定处理腔室清洁工艺的终点的方法及设备。在一些实施方式中，具有终点检测系统的处理系统可包括：处理腔室，所述处理腔室具有内表面，所述内表面由于在处理腔室中执行的工艺而需要定期清洁；及终点检测系统，所述终点检测系统包括光检测器，所述光检测器被定位以检测反射离开所述处理腔室的第一内表面的光；及控制器，所述控制器耦接至所述光检测器并且被设置以基于检测的反射光来确定清洁工艺的终点。

主权项

一种确定处理腔室清洁工艺的终点的设备，所述设备包含：处理腔室，所述处理腔室具有内表面，所述内表面由于在所述处理腔室中执行的工艺而需要定期清洁；以及终点检测系统，所述终点检测系统包含：光检测器，所述光检测器被定位以检测反射离开所述处理腔室的第一内表面的光；以及控制器，所述控制器耦接至所述光检测器并被设置以基于所述检测的反射光的干涉图案来确定清洁工艺的终点。