发明名称 拍摄装置及其制造方法
摘要 本发明提供一种拍摄装置及其制造方法,其中,绝缘衬层(LL1~LL4)在像素区域(GAR)的外侧的区域、且在像素区域(GAR)的4个角部(AO)之中的至少一个角部(AO)的对顶角的区域(OFR)内,具有除去了绝缘衬层(LL1~LL4)的像素外去除区域(OPR)。
申请公布号 CN105870139A 申请公布日期 2016.08.17
申请号 CN201610076675.3 申请日期 2016.02.03
申请人 瑞萨电子株式会社 发明人 后藤洋太郎
分类号 H01L27/146(2006.01)I 主分类号 H01L27/146(2006.01)I
代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 代理人 陈伟;王娟娟
主权项 一种拍摄装置,具有:半导体衬底,其具有主表面,且在所述主表面上具有矩形的像素区域;多个光电转换元件,其在所述像素区域中,形成在所述半导体衬底上;含铜的布线层,其形成在所述多个光电转换元件之上;以及含氮的绝缘衬层,其覆盖所述布线层的上表面,所述绝缘衬层在所述像素区域的外侧的区域、且在所述像素区域的4个角部之中的至少一个角部的对顶角的区域内,具有除去了所述绝缘衬层的像素外去除区域。
地址 日本东京都